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IMI的技术总监SangInLee博士说:““表面修改与分子加入”(SUMMIT)工艺是一种新工艺,可以增强硅表面和SiN薄膜等高应力薄膜之间的附着力。与IMI的专有表面技术相结合,SUMMIT工艺可以更好的粒子性能和比石英及SiC炉更长的清洗间隔期(MTBC),从而提高IMI的硅热场的生产效率与性能。”该技术的生产价值评估正在多个客户所在地进行,与IMI的战略营销伙伴TokyoElectron的联合评估也在同步进行中。
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